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石英晶体谐振器与MEMS振荡器中谐振部分区别

传统石英晶体谐振器不同之处在于谐振部分不同，MEMS硅振荡器谐振部分为硅片，石英振荡器谐振部分为石英晶片。单从谐振部分进行比较，硅谐振器不及石英谐振器，常温频差稳定度，及温度特性，均差于石英材料的谐振器。